在科技日益发达的时代，微电子技术作为高科技和信息产业的核心技术，其发展水平和产业规模已成为衡量一个国家经济实力和科技实力的重要标志。微电子技术的特点是精细或超精细的“微”加工技术，这一技术以半导体为材料，通过微细加工手段实现电子系统的小型化和微型化，主要表现在半导体器件和集成... [详细]